ພາລະບົດບາດແລະຄຸນລັກສະນະຂອງ chillers ໃນອຸດສາຫະກໍາເຄື່ອງເຄືອບ ion ສູນຍາກາດ

A ເຄື່ອງເຢັນເປັນອຸປະກອນນ້ໍາເຢັນທີ່ສາມາດສະຫນອງຄວາມກົດດັນຄົງທີ່, ອຸນຫະພູມຄົງທີ່, ແລະການໄຫຼຄົງທີ່. ມັນແມ່ນໂດຍການສີດນ້ໍາໃນປະລິມານທີ່ເຫມາະສົມເຂົ້າໄປໃນຖັງນ້ໍາ, ເຮັດໃຫ້ນ້ໍາເຢັນຜ່ານລະບົບຕູ້ເຢັນ, ແລະນໍາໃຊ້ປັ໊ມເພື່ອຂົນສົ່ງນ້ໍາເຢັນໄປຫາອຸປະກອນທີ່ຕ້ອງການຄວາມເຢັນ. ນ້ໍາເຢັນເອົາຄວາມຮ້ອນອອກຈາກອຸປະກອນເພື່ອບັນລຸຜົນກະທົບຂອງຄວາມເຢັນ. ນ້ໍາເຢັນແມ່ນເພີ່ມໃສ່ອຸປະກອນຄວາມຖີ່ລະດັບປານກາງສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນຍ້ອນຄວາມຖີ່ສູງແລະປະຈຸບັນຂະຫນາດໃຫຍ່. ເມື່ອ​ໃຊ້​ເປົ້າ​ໝາຍ​ສະ​ເປ​ແມ່​ເຫຼັກ, ມັນ​ຈະ​ສ້າງ​ອຸນ​ຫະ​ພູມ​ສູງ​ແລະ​ເຮັດ​ໃຫ້​ປືນ​ເສື່ອມ​ໂຊມ, ດັ່ງ​ນັ້ນ​ຕ້ອງ​ມີ​ເສື້ອ​ກັນ​ນ້ຳ​ເພື່ອ​ເຮັດ​ໃຫ້​ປືນ​ເຢັນ. Magnetron sputtering ສາມາດເວົ້າໄດ້ວ່າເປັນຫນຶ່ງໃນຜົນສໍາເລັດທີ່ໂດດເດັ່ນທີ່ສຸດໃນເຕັກໂນໂລຢີການເຄືອບ. ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງມັນແມ່ນຜົນບັງຄັບໃຊ້ການຜູກມັດຮູບເງົາ-substrate ທີ່ດີ, ອັດຕາການ sputtering ສູງ, ອຸນຫະພູມ substrate ຕ່ໍາ, ແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງອຸປະກອນທີ່ດີ. ເຄື່ອງເຢັນມີລະບົບການໄຫຼວຽນຂອງນ້ໍາເອກະລາດແລະລະບົບເຄື່ອງເຮັດຄວາມເຢັນເອກະລາດ, ເຊິ່ງບໍ່ໄດ້ຮັບຜົນກະທົບຈາກສະພາບແວດລ້ອມພາຍນອກ. ຮ່ວມກັນ, ລັກສະນະເຫຼົ່ານີ້ສະຫນອງການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ແລະຜົນການເຄືອບທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງສໍາລັບຂະບວນການເຄືອບ ion ສູນຍາກາດ.

ຫນ້າ​ທີ່​ແລະ​ລັກ​ສະ​ນະ​ຂອງ chiller ໃນ​ເຄື່ອງ​ເຄືອບ ion ສູນ​ຍາ​ກາດ​ປະ​ກອບ​ມີ​:

1. ຄວາມເຢັນຂອງເປົ້າໝາຍ: ເປົ້າໝາຍໃນເຄື່ອງເຄືອບໄອອອນສູນຍາກາດແມ່ນໃຊ້ເພື່ອສ້າງໄອອອນໂລຫະ, ແຕ່ມັນຈະສ້າງຄວາມຮ້ອນຫຼາຍໃນລະຫວ່າງຂະບວນການເຄືອບ. ເຄື່ອງ chiller ຢ່າງວ່ອງໄວເຮັດໃຫ້ເປົ້າຫມາຍເຢັນໂດຍຜ່ານລະບົບການໄຫຼວຽນຂອງຄວາມເຢັນເພື່ອຮັກສາອຸນຫະພູມການເຮັດວຽກປົກກະຕິຂອງເປົ້າຫມາຍ, ປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ອຸປະກອນຈາກການ overheating ເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມລົ້ມເຫຼວຫຼືຫຼຸດຜ່ອນຄຸນນະພາບຂອງການເຄືອບ, ແລະຮັບປະກັນຜົນຜະລິດທີ່ຫມັ້ນຄົງຂອງ ions.

2.ການຄວບຄຸມຄວາມຫມັ້ນຄົງ: ໄດ້ເຄື່ອງເຢັນສາ​ມາດ​ຄວບ​ຄຸມ​ອຸນ​ຫະ​ພູມ​ຂອງ​ອຸ​ປະ​ກອນ​ໄດ້​ຢ່າງ​ຫມັ້ນ​ຄົງ​ເພື່ອ​ຮັບ​ປະ​ກັນ​ວ່າ​ອຸ​ປະ​ກອນ​ເຮັດ​ວຽກ​ຢ່າງ​ຫມັ້ນ​ຄົງ​ພາຍ​ໃນ​ລະ​ດັບ​ອຸນ​ຫະ​ພູມ​ປະ​ຕິ​ບັດ​ການ​ປົກ​ກະ​ຕິ​. ນີ້ຊ່ວຍຮັກສາຄວາມສອດຄ່ອງແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງການເຄືອບ, ປັບປຸງຄວາມສອດຄ່ອງແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງຄຸນນະພາບການເຄືອບ.

3. ການປັບລະດັບຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ: ຕົວກໍານົດການການດໍາເນີນງານຂອງ chiller ສາມາດປັບໄດ້ຕາມຄວາມຕ້ອງການສະເພາະ, ລວມທັງອຸນຫະພູມນ້ໍາເຢັນ, ການໄຫຼແລະຄວາມກົດດັນ. ນີ້ເຮັດໃຫ້ເຄື່ອງເຢັນສາມາດສະຫນອງການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ຊັດເຈນຕາມຄວາມຕ້ອງການການເຄືອບທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຄຸນນະພາບສູງຂອງຂະບວນການເຄືອບ.

3. ການປະຫຍັດພະລັງງານ: ຄວາມອາດສາມາດເຮັດຄວາມເຢັນທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງແລະຫນ້າທີ່ຄວບຄຸມທີ່ຊັດເຈນຂອງ chiller ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການບໍລິໂພກພະລັງງານ. ໂດຍການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມຂອງອຸປະກອນຢ່າງມີປະສິດທິພາບ, ສິ່ງເສດເຫຼືອພະລັງງານເພີ່ມເຕີມສາມາດຫຼຸດລົງແລະປະສິດທິພາບການນໍາໃຊ້ພະລັງງານສາມາດປັບປຸງໄດ້.

5. ການປະຕິບັດການປົກປັກຮັກສາສິ່ງແວດລ້ອມ: ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງ chiller ໃນເຄື່ອງເຄືອບ ion ສູນຍາກາດສາມາດຫຼຸດຜ່ອນຜົນກະທົບທາງລົບຕໍ່ສິ່ງແວດລ້ອມ. ມັນໃຊ້ນ້ໍາໄຫຼວຽນເພື່ອເຮັດຄວາມເຢັນ, ຫຼຸດຜ່ອນການບໍລິໂພກນ້ໍາ, ແລະຜະລິດສຽງຕ່ໍາແລະການສັ່ນສະເທືອນໃນລະຫວ່າງການປະຕິບັດງານ.

6. ການຄວບຄຸມສິ່ງແວດລ້ອມ: ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງ chiller ໃນເຄື່ອງເຄືອບ ion ສູນຍາກາດຍັງສາມາດຄວບຄຸມອຸນຫະພູມອາກາດລ້ອມຮອບແລະຄວາມຊຸ່ມຊື່ນເພື່ອໃຫ້ສະພາບແວດລ້ອມການເຮັດວຽກທີ່ດີ. ອຸນຫະພູມອາກາດແລະຄວາມຊຸ່ມຊື່ນທີ່ເຫມາະສົມສາມາດເພີ່ມລະດັບຂອງສູນຍາກາດ, ຫຼຸດຜ່ອນຜົນກະທົບຂອງ impurities ແລະອາຍແກັສ, ແລະປັບປຸງຄຸນນະພາບຂອງການເຄືອບ.

ສະຫລຸບລວມແລ້ວ, ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງເຄື່ອງເຢັນໃນເຄື່ອງເຄືອບ ion ສູນຍາກາດກວມເອົາຫຼາຍດ້ານເຊັ່ນ: ເປົ້າຫມາຍຄວາມເຢັນ, ຊັ້ນໃຕ້ດິນຂອງຄວາມເຢັນ, ອຸປະກອນເຮັດຄວາມເຢັນແລະການຄວບຄຸມສິ່ງແວດລ້ອມ, ຮັບປະກັນການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມຂອງອຸປະກອນແລະ workpieces ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການເຄືອບ, ປັບປຸງຄຸນນະພາບການເຄືອບແລະຜະລິດຕະພັນ.